应用方向

  晶圆测试、各类器件、Wafer等进行I-V、C-V、光信号、RF、1/f噪声等特性分析、射频测试等

  概述

  A12是一款12寸(兼容8寸)的高性能晶圆测试探针台，通过使探针卡与晶圆PAD点之间准确接触，实现晶圆WAT/CP测试，该设备操作简单并具有良好的机械稳定性，能为客户提供一个低成本且高产量的晶圆测试解决方案，满足(晶圆厂、封测厂、测试厂)等不同客户的测试需求。

  创新性的A12探针台在(晶圆自动上下片装载输送、微米级全闭环运动控制、Wafer自动准确对针、视觉自动精确校准、高速反馈通信、数据信息处理)方面作出了全新升级改进，设备采用了一种高稳定的晶圆探针测试技术。

  产品亮点

  高效率：自研预对准模块集成，晶圆可无损自动上下片，7*24小时全天候在片探测 ，实现安全高速的晶圆传输

  高精度：微米级全闭环运动控制系统，搭配光学定位系统，使用新图像软件算法，实现准确自动扎针

  高兼容：机械手可接受超薄/翘曲/蓝膜/taiko片等多种晶圆;自研一体化hinge设计，可接受多种测试机对接

  高稳定：强度高低重心卡盘移动平台设计，可满足大针压测试

  规格参数